退火炉
SPTS LPX DSi深硅刻蚀机
XeF2刻蚀机PX-1
感应耦合等离子体刻蚀系统,NMC,GSE200 ICP刻蚀机
电镀清洗台
原子层沉积系统ALD
Parylene真空气相沉积系统PDS2010
纳米团簇沉积系统,MANTIS,Qprtp400磁控溅射台
磁控溅射镀膜设备
等离子体增强化学气相淀积系统
氧化扩散炉
晶圆键合机