纳米团簇沉积系统，MANTIS，Qprtp400磁控溅射台

1、仪器型号：QPrep400

2、制造厂商：英国Mantis公司

3、功能说明：

用于Ag纳米颗粒沉积。

4、性能指标：

溅射薄膜级别：纳米级-微米级；

直流电源：≤600V 、1.2A；

最高分辨率：+ 2%；

最大制备尺寸：4inch；

生长纳米颗粒尺寸：1-20nm；

生长纳米颗粒偏差：<2%。

5、样品要求：

晶圆尺寸：最大制备尺寸：4inch

6、收费标准：

校内：600元/小时；校外：600元/小时

备注：30分钟为基本时间单元