飞秒激光三维微纳刻蚀平台
脉冲激光溅射沉积系统PLD450
铁电分析仪 AIXACT TF2000E
高压压电电力显微镜(AFM)
切割液注入机 INPP-10
全自动晶圆清洗机 ACS-1000
扩膜机 DE-100
UV解胶机 UV-100
裂片机 DLT-1000
真空快速热处理炉 RTP500V+
600MHZ核磁共振波谱仪
X-射线衍射仪