所属机组：微纳加工与测试机组 联系人：王老师 联系电话：15110414725
1.仪器型号：UHV-NC-AFM
2.制造厂商：UNC LIMITED
3.功能说明：
可实现超精密测量、化学表征以及自旋电子开发、纳米级磁性材料表征及表面势能测量。
4.性能指标：
二次电子像分辨率：0.8nm@15 kV，
真空度:≤5×10^−11Torr
空间三维分辨率：横向0.1 nm；纵向 0.001 nm
表面势能分辨率：毫电子伏（meV）
5.样品要求：
晶圆尺寸：8 英寸晶圆，并向下兼容
6.收费标准：
校内：200元/张图；校外：200元/张图
