全自动晶圆清洗机 ACS-1000
1.仪器型号：ACS-1000
2.制造厂商：上海宏轶电子科技有限公司
3.功能说明：
4.性能指标：
适应的晶圆尺寸：8 英寸晶圆，并向下兼容；
清洗压力：0.1~0 .5MPa可调；
氮气压力：0.30~0.50Mpa 可调；
吹气压力设定范围:0.20~0.40Mpa可调；
工作盘转速范围：200~3000rpm可调；
清洗和甩干时间范围：3~999s可调
5.样品要求：
晶圆尺寸：8 英寸晶圆，并向下兼容
6.收费标准：
校内：200元/次；校外：200元/次
