1.仪器型号：FemtoLAB

2.制造厂商：沈阳科学仪器股份有限公司

3.功能说明：

可沉积Al2O3、ITO、TiN、MgO等薄膜。

4.性能指标：

靶材尺寸：Φ60mm；

靶材转速：5～20转/分；

基片尺寸：≥φ2″；

基片转速：5～20转/分；

基片与靶台间距：30～90mm可调；

极限真空度：≤6.67x10-6 Pa ；

加热温度：800℃±1℃。

5.样品要求：

晶圆尺寸：≥φ2″

6.收费标准：

校内：1600元/小时，切换激光器波长、脉冲数（除能量）等200元/次；

校外：1600元/小时，切换激光器波长、脉冲数（除能量）等200元/次

备注：30分钟为基本时间单元