1.仪器型号：RTP500V+

2.制造厂商：北京东之星应用物理所

3.功能说明：

用于离子注入、欧姆接触等工艺的快速真空退火。

4.性能指标：

温度范围:150℃~1250℃

升温速率:0.01-180℃/s， 稳态温度稳定性:士2℃；

样品尺寸：≤4inch，向下兼容；

5.样品要求：

晶圆尺寸：≤4inch，向下兼容；

6.收费标准：

校内：1小时内，600℃以内120元/炉，600℃以上240元/炉；超过1小时，600℃以内按照200元/小时计算，600℃以上按照400元/小时计算以15分钟为计费单元。

校外：1小时内，600℃以内120元/炉，600℃以上240元/炉；超过1小时，600℃以内按照200元/小时计算，600℃以上按照400元/小时计算以15分钟为计费单元。