裂片机 DLT-1000
1.仪器型号:DLT-1000
2.制造厂商:上海宏轶电子科技有限公司
3.功能说明:
4.性能指标:
样品尺寸:6英寸及6英寸以下的晶圆;
胶轮移动速度:1~100mm/s内可调;
胶轮移动次数:4次;
胶轮的下压力:0.1~0.5mpa内可调
5.样品要求:
晶圆尺寸:6英寸及6英寸以下的晶圆
6.收费标准:
校内:400元/小时;校外:400元/小时
备注:30分钟为基本时间单元