1.仪器型号：INPP-10

2.制造厂商：上海宏轶电子科技有限公司

3.功能说明：通过注液泵将切割液按照比例输送至切割机，根据用户不同需求，最多 可同时为4台切割机同时提供切割液。

4.性能指标：

适应的晶圆尺寸：8 英寸晶圆，并向下兼容；

清洗压力：0.1~0 .5MPa可调；

氮气压力：0.30~0.50Mpa 可调；

吹气压力设定范围:0.20~0.40Mpa可调；

工作盘转速范围：200~3000rpm可调；

清洗和甩干时间范围：3~999s可调

5.样品要求：

晶圆尺寸：8 英寸晶圆，并向下兼容

6.收费标准：

校内：200元/小时；校外：200元/小时

备注：30分钟为基本时间单元