退火炉
1、仪器型号：RTP500V+
2、制造厂商：北京东之星应用物理所
3、功能说明：
用于离子注入、欧姆接触等工艺的快速真空退火。
4、性能指标：
温度范围:150℃~1250℃
升温速率:0.01-180℃/s， 稳态温度稳定性:士2℃；
样品尺寸：≤4inch，向下兼容；
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤4inch
6、收费标准：
校内：150元/小时；校外：150元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
