氧化扩散炉

1、仪器型号：Beneq TFS 200

2、制造厂商：青岛华旗

3、功能说明：

用于干氧/湿氧氧化及硼扩散掺杂。

4、性能指标：

最大可控升温速率：15°C/min；

工作温度范围：200-1200℃；

温度精度：±0.5℃；

样品尺寸：4 inch，同时放2个石英舟，25片/舟，共50片/次；

恒温区长度：800mm；

气体：N2、O2、H2。

5、样品要求：

晶圆尺寸：4 inch（直径）

6、收费标准：

校内：通工艺气体时收费500元/小时，升降温时间为250元/小时；

校外：通工艺气体时收费500元/小时，升降温时间为250元/小时。

备注：60分钟为基要时间单元。