真空烘箱(HMDS)
喷胶机
匀胶热板机
匀胶机
等离子体去胶机
纳米压印仪
电子束光刻系统
传感器自动校准系统-2
传感器自动校准系统-1
高加速度冲击试验系统-2(霍普金森杆)
高加速度冲击试验系统-1(液压冲击台)
精密离心机