纳米压印仪
1、仪器型号：NIL-150
2、制造厂商：上海纳腾仪器有限公司
3、功能说明：
与扫描电子显微镜集成，利用电子束对刻蚀剂进行曝光来制备纳米尺度的掩膜。
4、性能指标：
样品尺寸：1cm*1cm
最小光栅宽度：<150 μm
束闸通断频率：200kHz
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：
校内：350元/小时；校外：同校内
备注：30分钟为基本时间单元
