等离子体去胶机
1、仪器型号：IoN Wave 10
2、制造厂商：普发拓普美国公司
3、功能说明：
利用等离子体对显影后的表面残胶进行去除、键合的晶圆表面进行表面活化处理。
4、性能指标：
气体：O2、N2、Ar
功率：50-500W连续调节
气体流量：0~5L/min
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：
校内：75元/30分钟；校外：同校内
备注：30分钟为基本时间单元
