电子束光刻系统
1、仪器型号：Elphy Plus
2、制造厂商：德国卡尔蔡司
3、功能说明：
纳米级图形的产生，超构表面结构制备
4、性能指标：
样品尺寸：1cm*1cm
最小光栅宽度：<150 μm
束闸通断频率：200kHz
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：
校内：1200元/小时；校外：同校内
备注：30分钟为基本时间单元
