真空烘箱（HMDS）
1、仪器型号：PVD-090-HMDS
2、制造厂商：上海实贝仪器设备厂
3、功能说明：
干燥物品速度快、污染小、不对被干燥物品的内在质量造成破坏
4、性能指标：
控温范围：R.T.+10～250℃;
温度分辨率：0.1℃;
控温精度：±0.5℃;
隔板数量：2PCS;
真空度：<133Pa
5、样品要求：
晶圆尺寸：无
6、收费标准：
校内：60元/次；校外：同校内
