喷胶机
1、仪器型号：SSC-200
2、制造厂商：苏州美图半导体技术有限公司
3、功能说明：
可对不同尺寸和形状的基片进行涂胶，满足对大深宽比结构的侧壁进行均匀涂胶。
4、性能指标：
胶厚：≥5μm
均匀性：<10%@10μm
温度：22-125℃
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：
校内：100元/片；校外：同校内
