匀胶热板机

1、仪器型号：Cee200XCB

2、制造厂商：Brewer Science（USA)

3、功能说明：

仅用于正性光刻胶的匀胶工艺。

4、性能指标：

温控精度：0.1° C

温控范围：22-300℃

温度均匀性: ±0.3%

旋转转速：0-12,000 rpm

旋转加速度：0-30000rpm/sec

转速调节精度：0.2rpm，重复性< 0.2rpm

旋涂作业均匀性：< ±3%

5、样品要求：

晶圆尺寸：≤4 inch（直径）

6、收费标准：

校内：50元/片；校外：同校内