SPTS LPX DSi深硅刻蚀机
1、仪器型号：PX-1
2、制造厂商：英国SPTS公司
3、功能说明：
可切割Si、玻璃、SiC、SOI、三层键合（硅-玻璃-硅）、陶瓷等材料。配有划片清洗机、贴片机、UV解胶机及扩膜机。
4、性能指标：
加工物尺寸：Φ ≤ 6inch
加工物最大厚度：2mm
划片道宽度：软刀300μm、200μm，硬刀80μm
5、样品要求：
晶圆尺寸：≤ 6inch
6、收费标准：
校内：1500元/小时；校外：1500元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
