XeF2刻蚀机PX-1
1、仪器型号：PX-1
2、制造厂商：百腾科技(苏州)有限公司
3、功能说明：
用于硅各向同性干法刻蚀，可用于无应力悬浮结构释放。
4、性能指标：
刻蚀硅速率：>5μm/min
样品尺寸：1片4 inch，向下兼容
5、样品要求：
晶圆尺寸：1片4 inch，向下兼容
6、收费标准：
校内：8000元/小时；校外：8000元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
