Parylene真空气相沉积系统PDS2010

1、仪器型号：PDS2010

2、制造厂商：美国SCS公司23

3、功能说明：

用于Parylene c 薄膜的沉积。

4、性能指标：

淀积薄膜：Parylene C；

淀积速率：100nm/hr~5μm/hr可控；

淀积薄膜厚度：100nm~10μm可控；

淀积均匀性：片内<3%，片间<5%;

样品尺寸：3片4 inch，向下兼容，非规则样品；

基底淀积温度：22℃；

样品基底材料：Si，Si3N4，SiO2, 玻璃，金属，陶瓷，PCB板，以及PI、PDMS等各种聚合物。

5、样品要求：

晶圆尺寸：3片4 inch，向下兼容，非规则样品

6、收费标准：

校内：1m厚以下1200元/次；1m厚以上基础费1200元，厚度每增加1m加收100元；

校外：1m厚以下1200元/次；1m厚以上基础费1200元，厚度每增加1m加收100元