双面光刻机
1、仪器型号：EVG610
2、制造厂商：奥地利EVG公司
3、功能说明：
EVG610光刻机可实现晶圆的双面光刻和精确对准，同时也可进行键合对准。
4、性能指标或技术指标：
（1）光刻版尺寸：5”×5”
（2）正面对准精度：≤ ±1μm
（3）背面对准精度：≤ ±1.25μm
（4）键合对准精度：≤ ±5μm
（5）曝光模式：接近、硬接触和软接触
（6）分辨率：优于2μm
5、样品要求或送样要求：
晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：
校内：300元/片，单面套刻额外加收100元/片，双面套刻加收200元/片；
校外：同校内。
