化学机械减薄抛光系统设备，Logitech LP50
1、仪器型号：LP50
2、制造厂商：Logitech（英国）
3、功能说明：
可用于硅、碳化硅、蓝宝石、PZT、陶瓷等多种材料晶圆片的减薄、抛光。配有专用的微晶石蜡粘片设备。
4、性能指标：
样品尺寸：4、6 inch
样品材料: 硅、蓝宝石、碳化硅、陶瓷等
平整度偏差（TTV）：≤±5um；
表面粗糙度（Ra）：Ra≤2nm
粘接蜡层TTV：≤+/-5um
5、样品要求：
晶圆尺寸：4、6 inch
6、收费标准：
校内：350元/小时；校外：350元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
