常温探针台EPS150TRIAX
1、仪器型号：EPS150TRIAX
2、制造厂商：苏州伊欧陆系统集成有限公司
3、功能说明：
配合半导体参数分析仪，用于芯片常温环境下电学性能的表征。
4、性能指标：
系统温度范围：20K-675K
操作方式：手动探针台
X-Y方向移动范围：155x155mm
Z方向移动范围：10mm
Theta移动范围：±8°
5、样品要求：
晶圆尺寸：4 inch
6、收费标准：
校内：150元/30分钟；校外：150元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
