低温探针台CRX-6.6K
1、仪器型号：CRX-6.5K
2、制造厂商：Lake Shore
3、功能说明：
配合半导体参数分析仪，在真空和20K-675K温度范围内进行芯片的电学性能的表征。
4、性能指标：
系统温度范围：20K-675K
控温稳定性：±50mK
最大测试样品尺寸：51mm（直径）
可使用探针臂：4个
探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整
5、样品要求：
晶圆尺寸：51mm（直径）
6、收费标准：
校内：250元/30分钟；校外：250元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
