半导体特性分析系统

1、仪器型号：4200-SCS

2、制造厂商：KEITHLEY

3、功能说明：

可用于测量和分析多种电子设备、材料、有源或无源元件、半导体或任何其他类型的电子设备的电气特性。

4、性能指标：

直流I-V测试：测量范围：100fA-100mA电流；1μV-210V的电压； 100fA测量分辨率；

C-V测试：测量范围：从aF级到μF级；

扫描频率：多频（1kHz~10MHz）C-V、超低频（10mHz~10Hz）C-V和准静态C-V；

扫描电压：0-±30V。

5、样品要求：

晶圆尺寸：4 inch

6、收费标准：

校内：150元/30分钟；校外：150元/30分钟

备注：30分钟为基本时间单元