紫外激光精细微加工设备
1、仪器型号：FPC03
2、制造厂商：德龙激光
3、功能说明：
可实现硅、玻璃、陶瓷、罗杰斯板和蓝宝石钻孔、切割和表面刻蚀。
4、性能指标：
加工幅面：200mm×200mm
定位精度：±3um
重复定位精度：±2um
激光波长：355nm
聚焦光斑：10-25μm可调
加工精度：±15um
最大运行速度：200mm/s（X、Y轴）25mm/s（Z轴）
5、样品要求：
晶圆尺寸：4 inch
6、收费标准：
校内：350元/30分钟；校外：350元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
