真空退火炉

1、仪器型号：OTF-1200X-4-RTP

2、制造厂商：合肥科晶

3、功能说明：

用于真空、气体氛围下的快退火。

4、性能指标：

真空度(min):50mtorr:;

温度(max):1000℃控温精度:±1℃以内;

升温速率:室温~800℃内≥50℃/sec;800℃~1000℃内≥10℃/sec;

降温速率:在 200mtorr 下≥60℃/min;在一个大气压下110℃/min；

样品尺寸：≤4inch，向下兼容；

按照材料分类，玻璃管必须专用。

5、样品要求：

晶圆尺寸：≤4inch

6、收费标准：

校内：100元/小时；校外：100元/小时

备注：30分钟为基本时间单元