台阶仪Axio Svope.A1
1、仪器型号：KLA Tencor P-7
2、制造厂商：KLA-Tencor
3、功能说明：
可用于微结构台阶的高度测量。
4、性能指标：
扫描水平方向连续扫描长度：150mm；
扫描垂直方向长度：1mm；
扫描垂直方向精度：4Å；
最佳垂直方向测试距离：1μm；
样品尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。
5、样品要求：
晶圆尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。
6、收费标准：
校内：50元/10分钟；校外：50元/10分钟
备注：10分钟为基本时间单元
