RT5-9双电测（四探针测试仪）

1、仪器型号：RT5-9

2、制造厂商：四探针科技中国广州

3、功能说明：

专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。

4、性能指标：

电阻率：10-4～105Ω.cm；

方块电阻：10-3～106Ω/□；

电导率：10-5～104 s/cm；

适合样品厚度：≤3.00mm

可测晶片直径：140mmX150mm

5、样品要求：

晶圆尺寸：140mmX150mm

6、收费标准：

校内：30/15分钟；校外：30/15分钟

备注：15分钟为基本时间单元