场发射扫描电子显微镜

1、仪器型号：SUPRA-55

2、制造厂商：ZEISS

3、功能说明：

可用于各种固态样品表面形貌的超分辨观察（二次电子像、反射电子像观察及图像处理），同时具备样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析、化学组分综合分析及电子束图形化曝光。

4、性能指标：

二次电子像分辨率：0.8nm@15 kV， 1.6nm@l kV；

加速电压范围：0.02kV～30 kV；

样品室尺寸：330 mm内径，270mm高；

最大样品尺寸：不大于200mm(直径)；

放大倍率：12×～1000,000×；

5、样品要求：

晶圆尺寸：不大于200mm(直径)；

6、收费标准：

校内：600元/小时，喷金75元/次；

校外：600元/小时，喷金75元/次

备注：30分钟为基本时间单元