共聚焦显微镜LEXTOLS5100

1、仪器型号：LEXTOLS4100

2、制造厂商：奥林巴斯

3、功能说明：

可对透明、非透明样品进行表面的观察和测量（高度测量、表面粗糙度测量、面积、体积测量和几何测量等），可进行三维成像。

4、性能指标：

光源：405 nm 半导体激光；

总倍率：108x～17,280x；

变焦：光学变焦1x～8x；

物镜：明视场平面半消色差透镜5x、10x ；

专用平面复消色差透镜20x、50x、100x；

XY 载物台：100×100 mm（电动载物台）。

5、样品要求：

晶圆尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。

6、收费标准：

校内：50元/10分钟；校外:50元/10分钟

备注：10分钟为基本时间单元