芯片检测显微镜（ZEISS）

1、仪器型号：p6stylusProfiler

2、制造厂商：ZEISS

3、功能说明：

具备极黑背景暗场技术，可减少光学照明系统的纵向色差；

采用ICCS无限远轴向及径向双重色差校正技术；

可见光下，极限可视分辨率优于0.2um；

有消杂散光技术可提高成像反差和对比度；

目镜：宽视场双目观察，10x/23高眼点，（科学的视场数）带视度补偿目镜，配置预装10/100十字线测微尺。

4、性能指标：

平面移动范围大于75x50mm，高度范围大于110mm，具备6孔物镜转换器；

记录装置：工业级专业彩色高分辨率数码摄像头，大于300万世纪有效像素，非数差值微位移，位图深度36位真色彩的高清晰、高分辨率。

安装滤色片系统，配置日光矫正及隔热滤片；

目镜十字线测微尺10/100和台尺1/100mm

5、样品要求：

晶圆尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。

6、收费标准：

校内：30元/10分钟；校外：30元/10分钟

备注：10分钟为基本时间单元