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离子减薄仪

发布时间:2023-11-28阅读数:

离子减薄仪

1.仪器型号:Leica EM RES102

2.制造厂商:德国徕卡

3.功能说明:

(1)对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,从而适宜TEM透射电子显微镜观察。

(2)对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀,样品表面离子清洗及斜坡切割,便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。

(3)各种样品架可以进行多元化应用。除了高能量的离子铣工艺,徕卡EM RES102也可适于采用低离子能量处理非常柔软的样本。

(4)SEM、LM、EBSD样品表面清洁、抛光、衬度增强,可替代化学刻蚀作用,最大抛光区域可达25 mm有效提高了TEM样品制备效率

4.性能指标:

(1)离子枪:

①离子束加工角度:0-90°

②离子束能量:0.8kev-10kev

(2)样品台:

①可选配样品台:TEM样品台,SEM样品台,FIB样品清洗台,斜坡切割样品台

②可动范围:

A.样品台倾斜角度-120°至 210°

B.样品平面摆动角度<360°

C.垂直摆动距离±5mm

③SEM样品台最大样品尺寸:

A.最大直径: 25 mm

B.最大高度: 12mm

5.样品要求:

(1)最大样品直径25mm

(2)最大样品高度12mm

6.收费标准:

(1)离子束应用

校内:100元/机时;校外:150元/机时

备注:不足1小时按1小时收费。

(2)EBSD制样

校内:100元/样品;校外:200元/样品

(3)TEM制样

校内:300元/样品;校外:500元/样品